| 产品特性：M310820 | 是否进口：否 | 产地：M310820 |
| 加工定制：否 | 品牌：M310820 | 型号：M310820 |
| 外形尺寸：M310820mm | 重量：M310820Kg | 产品用途：M310820 |
| 规格：M310820 |
四探针测试仪 不带软件手动） 型号:TZH24-RTS-4
库号：M310820
RTS-4型四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
RTS-4型四探针测试仪技术指标 ：
测量范围 电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.0005～10000 s/cm；
电阻：0.0001～2000Ω.cm；
可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表 量程及表示形式000.00～199.99 mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗＞1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；ji|性、过量程自动显示；
四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；
针间絶缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3％；
探针：碳化钨或高|速 钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试) ≤±5％
整机测量标准不确定度 ≤5％
测试模式 可连接电脑测试也可不连接电脑测试。
软件功能（选配） 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据大值、小值、平均值、大变化、平均变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自 动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口 并口，并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间需要1.5 秒。
标准使用环境 温度：23±2℃；
相对湿度：≤65％；
无干扰；
无光直射；
